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MKY-JS-600 小型離子濺射儀
MKY-JS-600 小型離子濺射儀
小型離子濺射儀采用二極（DC）直流濺射原理設計，操作簡單方便，適用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。
用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件，濺射電流。大尺寸的真空腔體設計，滿足大樣品的濺射需求。標配一片金靶，純度為99.999%，為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎。
技術指標如下：
1、靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm 純度：99.999%
2、真空室：直徑：160mm，高：120mm
3、樣品臺（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm
4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar
5、離子電流表：50mA
6、數(shù)顯計時器：根據(jù)濺射習慣設定單次濺射時間。
7、電壓：-1600DVC
8、機械泵:2升/每秒
9、工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，
10、微型真空氣閥： 配有氬氣專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ3mm軟管。
11、外型尺寸：360mm×300mm×380mm
備注：JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材：金、鉑、銀及氧化鋅
MKY-JS-600 小型離子濺射儀
